X射线光电子能谱仪/X-Ray photoelectron Spectrometer

仪器型号：ESCALAB 250Xi生产厂家：美国Thermo Fisher Scientific

工作原理

用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。被光子激发出来的电子称为光电子。可以测量光电子的能量，以光电子的动能/束缚能（binding energy，Eb=hv光能量-Ek动能-w功函数）为横坐标，相对强度（脉冲/s）为纵坐标可做出光电子能谱图，从而获得试样有关信息。

主要技术指标及参数

（1）最佳能量分辨率≤0.45 eV (Ag3d5/2)；

（2）最佳空间分辨率≤3μm（XPS成像）；

（3）单色光源最佳灵敏度：1,000 kcps (AlKα0.60 eV Ag3d5/2峰)；

（4）离子枪束斑< 150μm。

主要功能及应用领域

各种有机和无机固体材料的表面元素及其价态定性、定量分析，表面元素化学成像及深度剖析，原子和分子的价带结构分析；还可分析材料功函数以及能级结构。可用于腐蚀、摩擦、浸润、粘接、催化、包覆、氧化等表面和界面过程的研究。X射线光电子能谱仪配有单色化Al Ka、Ar离子深度刻蚀离子源、可进行较小面积分析、常规大面积分析、深度剖析、角分辨以及紫外光电子能谱测试。

送样要求：

1、样品不吸水，在超高真空中及X光照射下不分解、不释放气体，送样前将样品烘干，避免污染。

2、注明样品是导体还是绝缘体，有无磁性，有无毒害。3、注明样品中可能含有的元素。

4、样品可以为粉末、薄膜，块状固体。5、粉末样品：颗粒均匀，大小合适，一般小于0.1mm，用量约需10mg。

6、做普通XPS时，块状样品尺寸不超过：5mm×5mm×2mm，表面平整。

7、需刻蚀的样品要求表面平整，长宽在8 mm×8 mm左右，厚度都不高于5mm;

8、角分辨XPS样品：形状规整的片状或块状大样品，一般大于5mm，小于10mm，厚度小于2.5mm，成分均匀，表面平整。

9、悬浊液体，离子液体，明胶及膏状样品需在硅片上制样并干燥后方可检测。