台阶仪/step profiler

仪器型号：XP-2 生产厂家：美国Ambios

工作原理

台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后，输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后，可将位移信号从调幅信号中解调出来，得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。再经噪音滤波器、波度滤波器进一步滤去调制频率与外界干扰信号以及波度等因素对粗糙度测量的影响。

主要技术指标及参数

（1）最大扫描长度50mm（线性），最大采样点数60000，探针压
力范围0.05-10mg；

（2）彩色摄像头带变焦；

（3）最大样品厚度1.25英寸，最大垂直测量范围：400微米，垂直分辨率：1埃@10微米，15埃@100微米，62埃@400微米；

（4）样品运动XY范围150*150mm（马达驱动），保证10埃重复性（大约1微米台阶高度，10次测量，1标准偏差）；

（5）薄膜应力测试软件，三维测量软件。 

主要功能及应用领域

可用于测量轮廓、台阶高度、膜厚、薄膜应力、表面粗糙度计算及刻蚀分析。

送样要求

1.台阶仪是测量固体薄膜厚度的仪器，需要样品是平面的。

2.平面上的薄膜需要有台阶才能测试。

3.样品的高度小于1CM。