热场发射扫描电子显微镜/Hot Field Emission Scanning Electron Microscope

仪器型号：Sigma560 生产厂家：德国蔡司

工作原理

扫描电镜（SEM）是用电子枪射出电子束聚焦后在样品表面上做光栅状扫描的一种方法，它通过探测电子作用于样品所产生的信号来观察并分析样品表面的组成，形态和结构。 入射电子作用于样品会激发多种信息，如二次电子，背散射电子，吸收电子，俄歇电子，阴极荧光，特征X射线等等。 扫描电镜（SEM）主要是通过二次电子，背散射电子和特征X射线（XRD）信号来分析试样表面特性。

主要技术指标及参数

1. 分辨率：1.0nm@15kV，1.6nm@1kV

2. 放大倍率：X 10～1000000

3. 加速电压：0.02～30 KV

4. 样品台最大行程X=125mm，Y=125mm，Z=50mm，T= -10°~90°，R=360°

5. 可测试各种材料的二次电子像、背散射像、能谱、EBSD

6. 可在低电压模式下测试不导电样品

主要功能及应用领域

蔡司Sigma 560热场扫描电镜能够对各种材质的导电和不导电样品、不同尺寸和形状的样品表面微观结构进行高分辨观察。配置能谱和背散射电子衍射仪附件可以实现样品表面微观区域内的成分和织构分析。

送样要求

1．块体样品：金属块体样品可用导电胶直接固定在样品台上，确保样品与样品台良好接触；导电性差或不导电的样品需尽量将块状样品做小，并在表面引导电胶至样品台，可在低电压模式下观察，也可进行表面喷金或喷碳处理后再进行观察。

2．粉末样品：先将导电胶带粘在样品台上，再均匀地把粉末样品撒在上面，用洗耳球吹去未粘牢的粉末，注意样品量不要过多。

3．截面样品：将样品夹持在截面样品台上，需将样品的观察面与样品台顶面持平。

4.所有样品必须做干燥处理；孔隙率大的样品在进入电镜前需在真空条件下储存或提前进行红外干燥处理。

5. EBSD样品要求：样品应小于20 mm×20 mm，厚度超过10 mm需使用截面样品台进行固定。表面平整、清洁、无残余应力，导电性好。可通过机械抛光、电解抛光或离子抛光进行制样。