场发射透射电子显微镜/Cold field emission transmission electron microscope

仪器型号：F200 生产厂家：日本电子

工作原理

由电子枪发射出来的电子束，在真空通道中沿着镜体光轴穿越聚光镜，通过聚光镜将之汇聚成一束尖细、明亮而又均匀的光斑，照射在样品室内的样品上；透过样品后的电子束携带有样品内部的结构信息，样品内致密处透过的电子量少，稀疏处透过的电子量多；经过物镜的汇聚调焦和初级放大后，电子束进入下级的中间透镜和第1、第2投影镜进行综合放大成像，最终被放大了的电子影像投射在观察室内的荧光屏板上；荧光屏将电子影像转化为可见光影像以供使用者观察。

主要技术指标及参数

1.电子枪

1.1电子枪类型：高亮度冷场发射电子枪

1.2能量分辨率：≤0.30eV，适用于高分辨的eels研究

1.3小束斑下束流：≥2.5nA（束斑尺寸为0.7nmφ时）

2高压系统

2.1加速电压：20-200KV，连续可调（50V）

2.2加速电压稳定度：≤ 1 ppm/min

3物镜

3.1物镜电流稳定度：≤ 1 ppm/min

3.2焦距：2.3 mm；最小焦距步长：1.4nm

3.3球差系数：1.0mm；色差系数：1.4mm

4分辨率

4.1 TEM点分辨率： ≤0.23 nm；线分辨率：≤0.10 nm

4.2 STEM暗场分辨率：≤0.16 nm

4.3背散射电子分辨率：≤1.0nm

5放大倍数

5.1 TEM模式: ×20 - 2,000,000； STEM模式: ×200 - 150,000,000

5.2 配有洛伦茨模式：可进行铁磁性样品的磁畴观察（倍率×20 - 60,000）

主要功能及应用领域

JEM-F200F场发射透射电子显微镜不仅可实现超高分辨率图像的观察，同时，还可以得到纳米尺度的结构、成分等信息。应用于材料科学、生命科学、医疗、制药、半导体、纳米技术等领域的显微形貌、晶体结构和相组织的观察与分析；各种材料微区化学成分的定性和半定量检测；粉末、纳米粒子形态和粒度测定以及复合材料界面特性的研究。

送样要求

1. 样品无磁性，样品厚度一般要求在100纳米以下。

2. 固体样品干燥、无油，在高真空中能保持稳定，不含有水分或其它易挥发物。

3. 粉末样品通常分散在合适溶剂中，滴制在直径为3mm的载网上；双喷或是离子减薄制备得到TEM块状样品直径也为3mm；FIB制备样品为3mm的半圆形样品。